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光柵位移傳感器的組成結構
作者:khemrajb.com來源:本站時間:2020/9/14 14:10:20
位移測量是線位移測量和角位移測量的總稱,位移測量在機電一體化制造系統中應用十分廣泛。一般位移傳感器主要有:電感傳感器、電容傳感器、感應同步器、光柵傳感器、磁柵傳感器、旋轉變壓器和光電編碼盤等。其中,旋轉變壓器和光電編碼盤只能測試角位移,其它幾種傳感器既有直線型位移傳感器又有角度型位移傳感器。

光柵位移傳感器
光柵是一種新型的位移檢測元件,是一種將機械位移或模擬量轉變為數字脈沖的測量裝置。它的特點是測量精確度高(可達±1μm)、響應速度快、量程范圍大、可進行非接觸測量等。其易于實現數字測量和自動控制,廣泛用于數控機床和精密測量中。

光柵的構造
所謂光柵就是在透明的玻璃板上,均勻地刻出許多明暗相間的條紋,或在金屬鏡面上均勻地劃出許多間隔相等的條紋,通常線條的間隙和寬度是相等的。以透光的玻璃為載體的稱為透射光柵,不透光的金屬為載體的稱為反射光柵;根據光柵的外形可分為直線光柵和圓光柵。

光柵位移傳感器的結構如圖所示。它主要由標尺光柵、指示光柵、光電器件和光源等組成。通常,標尺光柵和被測物體相連,隨被測物體的直線位移而產生位移。一般標尺光柵和指示光柵的刻線密度是相同的,而刻線之間的距離W稱為柵距。光柵條紋密度一般為每毫米25、50、100、250條等。
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